Kîmya û Dermansazî

Teknolojiya danîna buxara fîzîkî (Danîna Buxara Fizîkî, PVD) behsa bikaranîna rêbazên fîzîkî di bin şert û mercên valahiyê de dike da ku rûyê çavkaniyek materyalê (hişk an şile) bibe atom an molekulên gaz, an jî qismî iyonîze bibe iyon, û di nav gaza zexta nizm (an plazma) re derbas bibe. Pêvajo, teknolojiyek ji bo danîna fîlimek zirav bi fonksiyonek taybetî li ser rûyê substratê ye, û danîna buxara fîzîkî yek ji teknolojiyên sereke yên dermankirina rûvî ye. Teknolojiya pêçandina PVD (danîna buxara fîzîkî) bi giranî li sê kategoriyan tê dabeş kirin: pêçandina buxara valahiyê, pêçandina sputterkirina valahiyê û pêçandina iyonê valahiyê.

Berhemên me bi giranî di buharkirina germî û pêçandina bi sputterê de têne bikar anîn. Berhemên ku di danîna buharê de têne bikar anîn têlên têlên tungstenê, qeyikên tungstenê, qeyikên molîbdenê, û qeyikên tantalê ne. Berhemên ku di pêçandina tîrêjên elektronê de têne bikar anîn têlên katodê yên tungstenê, xaçerêya sifir, xaçerêya tungstenê, û parçeyên pêvajoya molîbdenê ne. Berhemên ku di pêçandina bi sputterê de têne bikar anîn hedefên tîtanyûm, hedefên krom û hedefên tîtanyûm-aluminyûmê ne.

Pêçandina PVD